很多工廠在進行無塵車間設計時都會先進行無塵車間方案的確定,在微電子生產(chǎn)工藝的無塵車間內(nèi),根據(jù)產(chǎn)品的生產(chǎn)流程將無塵車間劃分為換鞋區(qū)、風淋室、貨淋室、半成品區(qū)、成品裝配區(qū)、成品包裝區(qū)等多個區(qū)域。每個區(qū)域都達到標準的無塵標準進行技術(shù)性配置,這些都是無塵車間標準規(guī)范的基本要求。
(1)天花:潔凈區(qū)及生產(chǎn)區(qū)域用雙層優(yōu)質(zhì)保溫(PU)彩鋼板,無塵明亮。符合電子廠房潔凈防靜電要求。
(2)間隔:潔凈區(qū)及生產(chǎn)區(qū)用雙面彩鋼保溫(PU)板圍護及間隔。潔凈車間內(nèi)間隔與地面及無花交角做元弧及陰角接口,防積塵及易于衛(wèi)生清潔。外墻要求表面整潔、平整,典型的建筑材料有磚混墻、剪力墻、鋼結(jié)構(gòu)等,并具有外保溫層。內(nèi)墻表面應堅固光潔、平整、不起灰、不產(chǎn)生靜電、耐腐蝕、耐沖擊、易清洗、無氣孔。墻四周密封無縫隙。地面應光滑、平整、無縫隙、耐腐蝕、耐沖擊、不積聚電,易除塵清洗且耐潮防水。
(3)密閉門:單扇門:900*2000,上做玻璃觀察窗(同間隔墻平窗尺寸),裝通道鎖,門及門框采用不銹鋼制作。
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